一(yi)、麵(mian)向(xiang)半(ban)導(dao)體(ti)場(chang)景(jing)的(di)超(chao)精(jing)密(mi)工(gong)藝(yi)設(she)計(ji)

半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)用(yong)精(jing)密(mi)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)，從(zong)原(yuan)材(cai)料(liao)環(huan)節(jie)就(jiu)建(jian)立(li)了(liao)遠(yuan)超(chao)普(pu)通(tong)絲(si)杠(gang)的(di)嚴(yan)苛(ke)標(biao)準(zhun)。基(ji)材(cai)選(xuan)用(yong)高(gao)均(jun)勻(yun)性(xing)的(di)特(te)種(zhong)軸(zhou)承(cheng)鋼(gang)，經(jing)過(guo)多(duo)段(duan)深(shen)冷(leng)時(shi)效(xiao)處(chu)理(li)，徹(che)底(di)消(xiao)除(chu)材(cai)料(liao)內(nei)部(bu)的(di)殘(can)餘(yu)應(ying)力(li)，避(bi)免(wen)長(zhang)期(qi)運(yun)行(hang)中(zhong)出(chu)現(xian)微(wei)觀(guan)形(xing)變(bian)，保(bao)障(zhang)絲(si)杠(gang)的(di)精(jing)度(duo)長(zhang)期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)。後(hou)續(xu)的(di)磨(mo)削(xiao)工(gong)序(xu)全(quan)部(bu)在(zai)恒(heng)溫(wen)無(wu)塵(chen)車(ju)間(jian)內(nei)完(wan)成(cheng)，采(cai)用(yong)納(na)米(mi)級(ji)精(jing)度(duo)的(di)超(chao)精(jing)密(mi)磨(mo)床(chuang)，把(ba)絲(si)杠(gang)的(di)導(dao)程(cheng)誤(wu)差(chai)控(kong)製(zhi)在(zai)每(mei)300mm行(hang)程(cheng)5μm以(yi)內(nei)，部(bu)分(fen)超(chao)高(gao)精(jing)度(duo)定(ding)製(zhi)款(kuan)甚(shen)至(zhi)能(neng)達(da)到(dao)C0級(ji)精(jing)度(duo)，導(dao)程(cheng)誤(wu)差(chai)小(xiao)於(yu)2μm。
針(zhen)對(dui)半(ban)導(dao)體(ti)場(chang)景(jing)的(di)零(ling)背(bei)隙(xi)需(xu)求(qiu)，這(zhe)類(lei)絲(si)杠(gang)采(cai)用(yong)雙(shuang)螺(luo)母(mu)高(gao)精(jing)度(duo)預(yu)緊(jin)結(jie)構(gou)，預(yu)緊(jin)力(li)的(di)控(kong)製(zhi)精(jing)度(duo)誤(wu)差(chai)不(bu)超(chao)過(guo)5%，全(quan)程(cheng)實(shi)現(xian)無(wu)間(jian)隙(xi)傳(zhuan)動(dong)，反(fan)向(xiang)定(ding)位(wei)誤(wu)差(chai)控(kong)製(zhi)在(zai)1μm以(yi)內(nei)，完(wan)全(quan)消(xiao)除(chu)反(fan)向(xiang)運(yun)動(dong)時(shi)的(di)傳(zhuan)動(dong)死(si)區(ou)。同(tong)時(shi)絲(si)杠(gang)的(di)滾(gun)道(dao)經(jing)過(guo)鏡(jing)麵(mian)拋(pao)光(guang)處(chu)理(li)，表(biao)麵(mian)粗(cu)糙(cao)度(duo)Ra小(xiao)於(yu)0.05μm，大(dai)幅(fu)降(xiang)低(di)滾(gun)動(dong)摩(mo)擦(ca)帶(dai)來(lai)的(di)磨(mo)損(sun)，長(zhang)期(qi)運(yun)行(hang)也(ye)不(bu)會(kuai)出(chu)現(xian)精(jing)度(duo)快(kuai)速(su)衰(cui)減(jian)的(di)問(wen)題(ti)。

二(er)、適(kuo)配(pei)半(ban)導(dao)體(ti)核(he)心(xin)工(gong)序(xu)的(di)落(la)地(de)應(ying)用(yong)

不(bu)同(tong)半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)序(xu)對(dui)絲(si)杠(gang)的(di)性(xing)能(neng)有(you)差(chai)異(yi)化(hua)的(di)極(ji)致(zhi)要(yao)求(qiu)，精(jing)密(mi)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)可(ke)實(shi)現(xian)全(quan)場(chang)景(jing)精(jing)準(zhun)適(kuo)配(pei)。晶(jing)圓(yuan)傳(zhuan)輸(shu)與(yu)光(guang)刻(ke)定(ding)位(wei)工(gong)位(wei)，需(xu)要(yao)絲(si)杠(gang)實(shi)現(xian)超(chao)平(ping)穩(wen)的(di)低(di)速(su)微(wei)動(dong)，避(bi)免(wen)傳(zhuan)動(dong)過(guo)程(cheng)中(zhong)出(chu)現(xian)爬(pa)行(hang)抖(dou)動(dong)，專(zhuan)用(yong)款(kuan)絲(si)杠(gang)優(you)化(hua)了(liao)滾(gun)道(dao)的(di)摩(mo)擦(ca)特(te)性(xing)，搭(da)配(pei)高(gao)精(jing)度(duo)全(quan)閉(bi)環(huan)反(fan)饋(kui)，可(ke)實(shi)現(xian)每(mei)秒(miao)0.1mm以(yi)下(xia)的(di)超(chao)低(di)速(su)無(wu)爬(pa)行(hang)運(yun)動(dong)，定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)穩(wen)定(ding)控(kong)製(zhi)在(zai)亞(ya)微(wei)米(mi)級(ji)別(bie)，保(bao)障(zhang)光(guang)刻(ke)圖(tu)案(an)的(di)精(jing)準(zhun)對(dui)齊(qi)。
晶(jing)圓(yuan)切(qie)割(ge)與(yu)劃(hua)片(pian)工(gong)位(wei)，需(xu)要(yao)絲(si)杠(gang)實(shi)現(xian)高(gao)速(su)高(gao)精(jing)度(duo)的(di)往(wang)複(fu)運(yun)動(dong)，同(tong)時(shi)嚴(yan)格(ge)控(kong)製(zhi)振(zhen)動(dong)，專(zhuan)用(yong)高(gao)速(su)精(jing)密(mi)絲(si)杠(gang)優(you)化(hua)了(liao)循(xun)環(huan)器(qi)結(jie)構(gou)，高(gao)轉(zhuan)速(su)下(xia)運(yun)行(hang)無(wu)衝(chong)擊(ji)振(zhen)動(dong)，可(ke)保(bao)障(zhang)金(jin)剛(gang)石(dan)刀(dao)片(pian)的(di)切(qie)割(ge)路(lu)徑(jing)誤(wu)差(chai)小(xiao)於(yu)2μm，避(bi)免(wen)晶(jing)圓(yuan)出(chu)現(xian)崩(beng)邊(bian)、切(qie)偏(pian)的(di)問(wen)題(ti)，大(dai)幅(fu)提(ti)升(sheng)晶(jing)圓(yuan)的(di)成(cheng)品(pin)良(liang)率(shuai)。芯(xin)片(pian)封(feng)裝(zhuang)與(yu)鍵(jian)合(ge)工(gong)位(wei)，需(xu)要(yao)絲(si)杠(gang)實(shi)現(xian)超(chao)高(gao)的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)，專(zhuan)用(yong)款(kuan)絲(si)杠(gang)的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)可(ke)達(da)±0.5μm，長(zhang)期(qi)連(lian)續(xu)運(yun)行(hang)數(shuo)千(qian)小(xiao)時(shi)後(hou)精(jing)度(duo)波(bo)動(dong)不(bu)超(chao)過(guo)1μm，保(bao)障(zhang)每(mei)一(yi)顆(ke)芯(xin)片(pian)的(di)鍵(jian)合(ge)位(wei)置(zhi)精(jing)準(zhun)一(yi)致(zhi)，大(dai)幅(fu)提(ti)升(sheng)高(gao)端(duan)芯(xin)片(pian)的(di)封(feng)裝(zhuang)良(liang)率(shuai)。
目(mu)前(qian)這(zhe)類(lei)半(ban)導(dao)體(ti)專(zhuan)用(yong)精(jing)密(mi)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)，已(yi)經(jing)在(zai)國(guo)內(nei)多(duo)類(lei)12英(ying)寸(cun)晶(jing)圓(yuan)製(zhi)造(zao)設(she)備(bei)、先(xian)進(jin)封(feng)裝(zhuang)設(she)備(bei)上(shang)實(shi)現(xian)批(pi)量(liang)應(ying)用(yong)，打(da)破(po)了(liao)海(hai)外(wai)品(pin)牌(pai)的(di)長(zhang)期(qi)壟(long)斷(duan)，為(wei)國(guo)內(nei)半(ban)導(dao)體(ti)裝(zhuang)備(bei)的(di)自(zi)主(zhu)可(ke)控(kong)提(ti)供(gong)了(liao)關(guan)鍵(jian)的(di)微(wei)米(mi)級(ji)傳(zhuan)動(dong)支(zhi)撐(cheng)，成(cheng)為(wei)高(gao)端(duan)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)產(chan)業(ye)鏈(lian)中(zhong)不(bu)可(ke)或(huo)缺(que)的(di)核(he)心(xin)基(ji)礎(chu)部(bu)件(jian)。