一(yi)、導(dao)軌(gui)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)對(dui)檢(jian)測(ce)儀(yi)器(qi)的(di)核(he)心(xin)影(ying)響(xiang)

精(jing)密(mi)檢(jian)測(ce)儀(yi)器(qi)的(di)核(he)心(xin)功(gong)能(neng)，是(shi)對(dui)工(gong)件(jian)的(di)形(xing)位(wei)公(gong)差(chai)、尺(che)寸(cun)精(jing)度(duo)做(zuo)微(wei)米(mi)級(ji)甚(shen)至(zhi)亞(ya)微(wei)米(mi)級(ji)的(di)精(jing)準(zhun)測(ce)量(liang)，傳(zhuan)動(dong)係(ji)統(tong)的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)直(zhi)接(jie)決(jue)定(ding)了(liao)檢(jian)測(ce)數(shuo)據(ju)的(di)複(fu)現(xian)性(xing)。如(ru)果(guo)導(dao)軌(gui)的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)不(bu)穩(wen)定(ding)，多(duo)次(ci)測(ce)量(liang)同(tong)一(yi)個(ge)標(biao)準(zhun)件(jian)得(dei)到(dao)的(di)數(shuo)值(zhi)偏(pian)差(chai)超(chao)過(guo)2μm，就(jiu)會(kuai)出(chu)現(xian)同(tong)一(yi)工(gong)件(jian)多(duo)次(ci)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)不(bu)一(yi)致(zhi)的(di)問(wen)題(ti)，不(bu)僅(jin)無(wu)法(fa)判(pan)定(ding)工(gong)件(jian)的(di)真(zhen)實(shi)精(jing)度(duo)，還(huan)可(ke)能(neng)把(ba)合(ge)格(ge)件(jian)誤(wu)判(pan)為(wei)不(bu)合(ge)格(ge)件(jian)，或(huo)者(zhe)把(ba)不(bu)合(ge)格(ge)件(jian)流(liu)入(ru)下(xia)一(yi)道(dao)工(gong)序(xu)，給(ji)生(sheng)產(chan)環(huan)節(jie)帶(dai)來(lai)巨(ju)大(dai)的(di)質(zhi)量(liang)風(feng)險(xian)。
同(tong)時(shi)檢(jian)測(ce)儀(yi)器(qi)大(dai)多(duo)需(xu)要(yao)長(zhang)期(qi)保(bao)持(chi)低(di)速(su)微(wei)動(dong)運(yun)行(hang)，運(yun)動(dong)速(su)度(duo)低(di)至(zhi)0.1mm/s，普(pu)通(tong)導(dao)軌(gui)很(hen)容(rong)易(yi)出(chu)現(xian)爬(pa)行(hang)現(xian)象(xiang)，進(jin)一(yi)步(bu)加(jia)劇(ju)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)的(di)波(bo)動(dong)，這(zhe)對(dui)導(dao)軌(gui)的(di)運(yun)行(hang)平(ping)穩(wen)性(xing)提(ti)出(chu)了(liao)遠(yuan)高(gao)於(yu)普(pu)通(tong)工(gong)業(ye)場(chang)景(jing)的(di)嚴(yan)苛(ke)要(yao)求(qiu)。

二(er)、重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)的(di)核(he)心(xin)控(kong)製(zhi)要(yao)點(dian)

首(shou)先(xian)要(yao)選(xuan)用(yong)超(chao)高(gao)精(jing)度(duo)等(deng)級(ji)的(di)專(zhuan)用(yong)導(dao)軌(gui)，精(jing)度(duo)等(deng)級(ji)達(da)到(dao)SP級(ji)及(ji)以(yi)上(shang)，導(dao)軌(gui)的(di)單(shan)根(gen)直(zhi)線(xian)度(duo)誤(wu)差(chai)控(kong)製(zhi)在(zai)0.3μm/300mm以(yi)內(nei)，滾(gun)動(dong)體(ti)經(jing)過(guo)超(chao)精(jing)密(mi)分(fen)級(ji)篩(shai)選(xuan)，尺(che)寸(cun)公(gong)差(chai)控(kong)製(zhi)在(zai)±0.1μm以(yi)內(nei)，滾(gun)道(dao)經(jing)過(guo)超(chao)精(jing)密(mi)研(yan)磨(mo)加(jia)工(gong)，表(biao)麵(mian)粗(cu)糙(cao)度(duo)達(da)到(dao)Ra0.05μm以(yi)下(xia)，從(zong)根(gen)源(yuan)上(shang)消(xiao)除(chu)傳(zhuan)動(dong)副(fu)的(di)原(yuan)始(shi)形(xing)位(wei)誤(wu)差(chai)，為(wei)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)打(da)下(xia)基(ji)礎(chu)。
其(qi)次(ci)要(yao)精(jing)準(zhun)管(guan)控(kong)預(yu)壓(ya)與(yu)間(jian)隙(xi)狀(zhuang)態(tai)，結(jie)合(ge)之(zhi)前(qian)我(wo)們(men)提(ti)到(dao)的(di)間(jian)隙(xi)與(yu)預(yu)緊(jin)的(di)匹(pi)配(pei)規(gui)則(ze)，選(xuan)用(yong)微(wei)預(yu)壓(ya)等(deng)級(ji)，預(yu)緊(jin)力(li)控(kong)製(zhi)在(zai)額(e)定(ding)動(dong)負(fu)載(zai)的(di)5%左(zuo)右(you)，既(ji)完(wan)全(quan)消(xiao)除(chu)所(suo)有(you)反(fan)向(xiang)間(jian)隙(xi)，又(you)不(bu)會(kuai)因(yin)為(wei)預(yu)緊(jin)力(li)過(guo)大(dai)導(dao)致(zhi)運(yun)行(hang)阻(zu)力(li)波(bo)動(dong)，保(bao)證(zheng)全(quan)行(hang)程(cheng)的(di)運(yun)行(hang)阻(zu)力(li)均(jun)勻(yun)穩(wen)定(ding)，徹(che)底(di)避(bi)免(wen)低(di)速(su)爬(pa)行(hang)現(xian)象(xiang)。
第(di)三(san)要(yao)做(zuo)好(hao)超(chao)高(gao)精(jing)度(duo)安(an)裝(zhuang)與(yu)校(jiao)準(zhun)，床(chuang)身(shen)的(di)安(an)裝(zhuang)基(ji)準(zhun)麵(mian)經(jing)過(guo)手(shou)工(gong)精(jing)密(mi)刮(gua)研(yan)，平(ping)麵(mian)度(duo)誤(wu)差(chai)控(kong)製(zhi)在(zai)0.005mm/1000mm以(yi)內(nei)，兩(liang)個(ge)平(ping)行(hang)導(dao)軌(gui)的(di)平(ping)行(hang)度(duo)誤(wu)差(chai)校(jiao)準(zhun)到(dao)1μm以(yi)內(nei)，采(cai)用(yong)從(zong)中(zhong)間(jian)向(xiang)兩(liang)端(duan)的(di)對(dui)角(jue)鎖(suo)固(gu)順(shun)序(xu)，完(wan)全(quan)消(xiao)除(chu)安(an)裝(zhuang)帶(dai)來(lai)的(di)隱(yin)性(xing)應(ying)力(li)，避(bi)免(wen)導(dao)軌(gui)出(chu)現(xian)局(ju)部(bu)微(wei)量(liang)變(bian)形(xing)。
最(zui)後(hou)配(pei)套(tao)全(quan)行(hang)程(cheng)誤(wu)差(chai)補(bu)償(chang)，用(yong)激(ji)光(guang)幹(gan)涉(she)儀(yi)對(dui)全(quan)行(hang)程(cheng)的(di)定(ding)位(wei)誤(wu)差(chai)做(zuo)逐(zhu)點(dian)采(cai)集(ji)，通(tong)過(guo)控(kong)製(zhi)係(ji)統(tong)做(zuo)誤(wu)差(chai)補(bu)償(chang)，進(jin)一(yi)步(bu)把(ba)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)提(ti)升(sheng)到(dao)亞(ya)微(wei)米(mi)級(ji)別(bie)，同(tong)時(shi)配(pei)套(tao)潔(jie)淨(jing)級(ji)長(zhang)效(xiao)潤(run)滑(hua)方(fang)案(an)，避(bi)免(wen)油(you)脂(zhi)揮(hui)發(fa)汙(wu)染(ran)光(guang)學(xue)檢(jian)測(ce)部(bu)件(jian)，長(zhang)期(qi)保(bao)持(chi)精(jing)度(duo)穩(wen)定(ding)。

三(san)、方(fang)案(an)落(la)地(de)的(di)實(shi)際(ji)應(ying)用(yong)價(jia)值(zhi)

這(zhe)套(tao)精(jing)密(mi)檢(jian)測(ce)儀(yi)器(qi)導(dao)軌(gui)精(jing)度(duo)控(kong)製(zhi)方(fang)案(an)，目(mu)前(qian)已(yi)經(jing)在(zai)國(guo)內(nei)高(gao)端(duan)三(san)坐(zuo)標(biao)測(ce)量(liang)儀(yi)、影(ying)像(xiang)測(ce)量(liang)儀(yi)廠(han)商(shang)中(zhong)批(pi)量(liang)落(la)地(de)，設(she)備(bei)的(di)全(quan)行(hang)程(cheng)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)穩(wen)定(ding)控(kong)製(zhi)在(zai)±0.5μm以(yi)內(nei)，多(duo)次(ci)測(ce)量(liang)標(biao)準(zhun)量(liang)塊(kuai)的(di)數(shuo)值(zhi)偏(pian)差(chai)小(xiao)於(yu)0.2μm，檢(jian)測(ce)數(shuo)據(ju)的(di)複(fu)現(xian)性(xing)大(dai)幅(fu)提(ti)升(sheng)，完(wan)全(quan)滿(man)足(ju)高(gao)端(duan)精(jing)密(mi)製(zhi)造(zao)領(ling)域(yu)的(di)高(gao)精(jing)度(duo)檢(jian)測(ce)需(xu)求(qiu)，打(da)破(po)了(liao)海(hai)外(wai)品(pin)牌(pai)在(zai)高(gao)端(duan)檢(jian)測(ce)儀(yi)器(qi)核(he)心(xin)傳(zhuan)動(dong)部(bu)件(jian)領(ling)域(yu)的(di)壟(long)斷(duan)，為(wei)國(guo)產(chan)精(jing)密(mi)檢(jian)測(ce)設(she)備(bei)的(di)性(xing)能(neng)升(sheng)級(ji)提(ti)供(gong)了(liao)核(he)心(xin)支(zhi)撐(cheng)。