一(yi)、精(jing)度(duo)等(deng)級(ji)：從(zong)"能(neng)用(yong)"到(dao)"變(bian)態(tai)"，差(chai)了(liao)100倍(bei)

直(zhi)線(xian)導(dao)軌(gui)精(jing)度(duo)分(fen)五(wu)檔(dang)，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)直(zhi)接(jie)從(zong)第(di)三(san)檔(dang)起(qi)步(bu)：

半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)用(yong)的(di)是(shi)哪(nei)檔(dang)？P級(ji)打(da)底(di)，SP級(ji)為(wei)主(zhu)流(liu)，光(guang)刻(ke)機(ji)直(zhi)接(jie)上(shang)超(chao)高(gao)精(jing)密(mi)級(ji)。 重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)必(bi)須(xu)控(kong)製(zhi)在(zai)±1μm以(yi)內(nei)，部(bu)分(fen)設(she)備(bei)甚(shen)至(zhi)要(yao)求(qiu)亞(ya)微(wei)米(mi)級(ji)。

什(shi)麽(ma)概(gai)念(nian)？一(yi)根(gen)頭(tou)發(fa)絲(si)直(zhi)徑(jing)約(yao)70μm，1μm是(shi)它(ta)的(di)七(qi)十(shi)分(fen)之(zhi)一(yi)。

二(er)、不(bu)隻(zhi)是(shi)精(jing)度(duo)：四(si)個(ge)"變(bian)態(tai)"要(yao)求(qiu)同(tong)時(shi)卡(qia)脖(bo)子(zi)

1. 潔(jie)淨(jing)度(duo)：Class 1級(ji)別(bie)無(wu)塵(chen)室(shi)是(shi)底(di)線(xian)

半(ban)導(dao)體(ti)車(ju)間(jian)多(duo)為(wei)Class 10甚(shen)至(zhi)Class 1潔(jie)淨(jing)環(huan)境(jing)。導(dao)軌(gui)必(bi)須(xu)低(di)發(fa)塵(chen)、低(di)油(you)脂(zhi)揮(hui)發(fa)，采(cai)用(yong)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)材(cai)質(zhi)或(huo)陶(tao)瓷(ci)塗(tu)層(ceng)，密(mi)封(feng)結(jie)構(gou)杜(du)絕(jue)顆(ke)粒(li)物(wu)進(jin)入(ru)。一(yi)顆(ke)灰(hui)塵(chen)落(la)在(zai)晶(jing)圓(yuan)上(shang)，就(jiu)是(shi)一(yi)顆(ke)廢(fei)品(pin)。

2. 低(di)摩(mo)擦(ca)：摩(mo)擦(ca)係(ji)數(shuo)僅(jin)為(wei)滑(hua)動(dong)導(dao)軌(gui)的(di)1/50

半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)常(chang)年(nian)高(gao)速(su)運(yun)行(hang)，導(dao)軌(gui)摩(mo)擦(ca)係(ji)數(shuo)必(bi)須(xu)壓(ya)到(dao)0.005以(yi)下(xia)。滾(gun)動(dong)摩(mo)擦(ca)結(jie)構(gou)讓(rang)滑(hua)塊(kuai)在(zai)數(shuo)米(mi)/秒(miao)的(di)速(su)度(duo)下(xia)仍(reng)保(bao)持(chi)穩(wen)定(ding)軌(gui)跡(ji)，不(bu)爬(pa)行(hang)、不(bu)抖(dou)動(dong)。

3. 高(gao)剛(gang)性(xing)：四(si)方(fang)向(xiang)等(deng)載(zai)荷(he)，扛(gang)得(dei)住(zhu)衝(chong)擊(ji)

45°接(jie)觸(chu)角(jue)設(she)計(ji)，徑(jing)向(xiang)、反(fan)徑(jing)向(xiang)、側(zhai)向(xiang)載(zai)荷(he)同(tong)時(shi)承(cheng)受(shou)。以(yi)30mm寬(kuan)導(dao)軌(gui)為(wei)例(li)，額(e)定(ding)動(dong)載(zai)荷(he)可(ke)達(da)30kN以(yi)上(shang)，靜(jing)載(zai)荷(he)超(chao)50kN。高(gao)速(su)啟(qi)停(ting)不(bu)變(bian)形(xing)，精(jing)度(duo)不(bu)漂(piao)移(yi)。

4. 長(zhang)壽(shou)命(ming)：連(lian)續(xu)運(yun)行(hang)上(shang)萬(mo)小(xiao)時(shi)不(bu)換(huan)件(jian)

SUJ2軸(zhou)承(cheng)鋼(gang)經(jing)滲(shen)碳(tan)淬(cui)火(huo)處(chu)理(li)，硬(ying)度(duo)HRC58-62，理(li)論(lun)壽(shou)命(ming)超(chao)10000小(xiao)時(shi)。配(pei)合(ge)專(zhuan)用(yong)鋰(li)基(ji)潤(run)滑(hua)脂(zhi)，維(wei)護(hu)周(zhou)期(qi)可(ke)達(da)1000km運(yun)行(hang)距(ju)離(li)，停(ting)機(ji)維(wei)護(hu)成(cheng)本(ben)大(dai)幅(fu)降(xiang)低(di)。

三(san)、用(yong)在(zai)哪(nei)？幾(ji)乎(hu)貫(guan)穿(chuan)整(zheng)條(tiao)產(chan)線(xian)

寫(xie)在(zai)最(zui)後(hou)

一(yi)句(gou)話(hua)總(zong)結(jie)：半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)的(di)精(jing)度(duo)天(tian)花(hua)板(pan)，有(you)一(yi)半(ban)是(shi)直(zhi)線(xian)導(dao)軌(gui)撐(cheng)起(qi)來(lai)的(di)。

P級(ji)是(shi)入(ru)場(chang)券(quan)，SP級(ji)是(shi)標(biao)配(pei)，超(chao)高(gao)精(jing)密(mi)級(ji)才(cai)是(shi)光(guang)刻(ke)機(ji)的(di)剛(gang)需(xu)。選(xuan)錯(cuo)一(yi)級(ji)，不(bu)是(shi)"差(chai)一(yi)點(dian)"的(di)問(wen)題(ti)，是(shi)整(zheng)批(pi)芯(xin)片(pian)良(liang)率(shuai)崩(beng)盤(pan)的(di)問(wen)題(ti)。把(ba)這(zhe)張(zhang)等(deng)級(ji)表(biao)存(cun)好(hao)，選(xuan)型(xing)時(shi)逐(zhu)一(yi)對(dui)照(zhao)，少(shao)走(zou)半(ban)年(nian)彎(wan)路(lu)。