一(yi)、材(cai)料(liao)選(xuan)擇(ze)：低(di)氣(qi)體(ti)釋(shi)放(fang)率(shuai)與(yu)高(gao)耐(nai)久(jiu)性(xing)

真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)中(zhong)，材(cai)料(liao)內(nei)部(bu)氣(qi)體(ti)的(di)析(xi)出(chu)會(kuai)導(dao)致(zhi)環(huan)境(jing)純(chun)淨(jing)度(duo)下(xia)降(xiang)，甚(shen)至(zhi)引(yin)發(fa)設(she)備(bei)故(gu)障(zhang)。因(yin)此(ci)，需(xu)優(you)先(xian)選(xuan)用(yong)高(gao)純(chun)度(duo)、低(di)氣(qi)體(ti)釋(shi)放(fang)率(shuai)的(di)材(cai)料(liao)。例(li)如(ru)，NSK真(zhen)空(kong)專(zhuan)用(yong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)采(cai)用(yong)特(te)殊(shu)合(ge)金(jin)鋼(gang)，經(jing)真(zhen)空(kong)烘(hong)烤(kao)處(chu)理(li)後(hou)，氣(qi)體(ti)釋(shi)放(fang)率(shuai)可(ke)控(kong)製(zhi)在(zai)1×10⁻⁶Pa·m³/s以(yi)下(xia)，避(bi)免(wen)汙(wu)染(ran)晶(jing)圓(yuan)表(biao)麵(mian)。此(ci)外(wai)，材(cai)料(liao)需(xu)具(ju)備(bei)高(gao)耐(nai)久(jiu)性(xing)，以(yi)承(cheng)受(shou)真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)因(yin)溫(wen)度(duo)變(bian)化(hua)導(dao)致(zhi)的(di)熱(re)應(ying)力(li)。實(shi)驗(yan)數(shuo)據(ju)顯(xian)示(shi)，采(cai)用(yong)GCr15軸(zhou)承(cheng)鋼(gang)的(di)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)在(zai)-196℃液(ye)氮(dan)環(huan)境(jing)中(zhong)仍(reng)能(neng)保(bao)持(chi)HRC60-62的(di)硬(ying)度(duo)，確(que)保(bao)長(zhang)期(qi)穩(wen)定(ding)運(yun)行(hang)。

二(er)、密(mi)封(feng)設(she)計(ji)：防(fang)雜(za)質(zhi)侵(qin)入(ru)與(yu)熱(re)補(bu)償(chang)機(ji)製(zhi)

真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)的(di)密(mi)封(feng)需(xu)兼(jian)顧(gu)防(fang)塵(chen)與(yu)熱(re)變(bian)形(xing)控(kong)製(zhi)。傳(zhuan)統(tong)密(mi)封(feng)圈(juan)在(zai)真(zhen)空(kong)下(xia)易(yi)因(yin)氣(qi)壓(ya)差(chai)失(shi)效(xiao)，而(er)NSK等(deng)品(pin)牌(pai)通(tong)過(guo)優(you)化(hua)密(mi)封(feng)結(jie)構(gou)，采(cai)用(yong)金(jin)屬(zhu)波(bo)紋(wen)管(guan)與(yu)陶(tao)瓷(ci)塗(tu)層(ceng)的(di)複(fu)合(ge)設(she)計(ji)，將(qiang)雜(za)質(zhi)侵(qin)入(ru)率(shuai)降(xiang)低(di)90%。同(tong)時(shi)，針(zhen)對(dui)真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)材(cai)料(liao)熱(re)膨(peng)脹(zhang)係(ji)數(shuo)差(chai)異(yi)大(dai)的(di)問(wen)題(ti)，需(xu)引(yin)入(ru)熱(re)補(bu)償(chang)機(ji)製(zhi)。例(li)如(ru)，某(mou)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)廠(han)商(shang)通(tong)過(guo)在(zai)絲(si)杠(gang)與(yu)螺(luo)母(mu)間(jian)嵌(kan)入(ru)彈(tan)性(xing)預(yu)緊(jin)元(yuan)件(jian)，使(shi)溫(wen)度(duo)變(bian)化(hua)導(dao)致(zhi)的(di)軸(zhou)向(xiang)位(wei)移(yi)控(kong)製(zhi)在(zai)±2μm以(yi)內(nei)，保(bao)障(zhang)了(liao)晶(jing)圓(yuan)對(dui)位(wei)係(ji)統(tong)的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)。

三(san)、潤(run)滑(hua)技(ji)術(zhu)：低(di)蒸(zheng)汽(qi)壓(ya)與(yu)長(zhang)壽(shou)命(ming)

真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)中(zhong)，傳(zhuan)統(tong)潤(run)滑(hua)油(you)會(kuai)因(yin)揮(hui)發(fa)導(dao)致(zhi)潤(run)滑(hua)失(shi)效(xiao)。為(wei)此(ci)，需(xu)選(xuan)用(yong)低(di)蒸(zheng)汽(qi)壓(ya)的(di)固(gu)體(ti)潤(run)滑(hua)劑(ji)或(huo)真(zhen)空(kong)專(zhuan)用(yong)潤(run)滑(hua)脂(zhi)。例(li)如(ru)，某(mou)品(pin)牌(pai)真(zhen)空(kong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)采(cai)用(yong)的(di)氟(fu)化(hua)物(wu)基(ji)潤(run)滑(hua)脂(zhi)，蒸(zheng)汽(qi)壓(ya)低(di)於(yu)1×10⁻⁹Pa，可(ke)在(zai)10⁻⁶Pa真(zhen)空(kong)度(duo)下(xia)保(bao)持(chi)10,000小(xiao)時(shi)以(yi)上(shang)的(di)潤(run)滑(hua)周(zhou)期(qi)。此(ci)外(wai)，部(bu)分(fen)高(gao)端(duan)型(xing)號(hao)通(tong)過(guo)滾(gun)珠(zhu)表(biao)麵(mian)DLC（類(lei)金(jin)剛(gang)石(dan)）塗(tu)層(ceng)處(chu)理(li)，將(qiang)摩(mo)擦(ca)係(ji)數(shuo)降(xiang)至(zhi)0.003，進(jin)一(yi)步(bu)減(jian)少(shao)潤(run)滑(hua)需(xu)求(qiu)。

四(si)、精(jing)度(duo)與(yu)動(dong)態(tai)性(xing)能(neng)：微(wei)米(mi)級(ji)定(ding)位(wei)與(yu)抗(kang)共(gong)振(zhen)設(she)計(ji)

半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)對(dui)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)的(di)精(jing)度(duo)要(yao)求(qiu)極(ji)高(gao)。例(li)如(ru)，晶(jing)圓(yuan)切(qie)割(ge)機(ji)需(xu)實(shi)現(xian)±1μm的(di)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)，這(zhe)就(jiu)要(yao)求(qiu)選(xuan)用(yong)C3級(ji)（300mm行(hang)程(cheng)累(lei)積(ji)誤(wu)差(chai)±8μm）以(yi)上(shang)的(di)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)。同(tong)時(shi)，需(xu)通(tong)過(guo)動(dong)態(tai)剛(gang)度(duo)測(ce)試(shi)優(you)化(hua)預(yu)壓(ya)量(liang)，避(bi)免(wen)因(yin)過(guo)度(duo)預(yu)壓(ya)導(dao)致(zhi)溫(wen)升(sheng)超(chao)標(biao)。某(mou)醫(yi)療(liao)設(she)備(bei)廠(han)商(shang)的(di)實(shi)踐(jian)表(biao)明(ming)，采(cai)用(yong)中(zhong)預(yu)壓(ya)（0.05Ca）配(pei)合(ge)循(xun)環(huan)冷(leng)卻(que)係(ji)統(tong)，可(ke)使(shi)絲(si)杠(gang)在(zai)連(lian)續(xu)運(yun)行(hang)時(shi)的(di)溫(wen)升(sheng)控(kong)製(zhi)在(zai)5℃以(yi)內(nei)，確(que)保(bao)動(dong)態(tai)穩(wen)定(ding)性(xing)。

五(wu)、應(ying)用(yong)案(an)例(li)：從(zong)晶(jing)圓(yuan)搬(ban)運(yun)到(dao)探(tan)針(zhen)測(ce)試(shi)

在(zai)晶(jing)圓(yuan)搬(ban)運(yun)機(ji)器(qi)人(ren)中(zhong)，真(zhen)空(kong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)需(xu)承(cheng)受(shou)高(gao)頻(pin)啟(qi)停(ting)與(yu)微(wei)米(mi)級(ji)定(ding)位(wei)需(xu)求(qiu)。某(mou)型(xing)號(hao)通(tong)過(guo)采(cai)用(yong)小(xiao)導(dao)程(cheng)（5mm以(yi)下(xia)）與(yu)高(gao)剛(gang)性(xing)（直(zhi)徑(jing)25mm以(yi)上(shang)）設(she)計(ji)，配(pei)合(ge)光(guang)柵(zha)尺(che)閉(bi)環(huan)控(kong)製(zhi)，實(shi)現(xian)了(liao)0.1μm的(di)重(chong)複(fu)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)。而(er)在(zai)探(tan)針(zhen)測(ce)試(shi)設(she)備(bei)中(zhong)，為(wei)應(ying)對(dui)真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)的(di)振(zhen)動(dong)問(wen)題(ti)，需(xu)通(tong)過(guo)增(zeng)加(jia)中(zhong)間(jian)支(zhi)撐(cheng)將(qiang)一(yi)階(jie)臨(lin)界(jie)轉(zhuan)速(su)提(ti)升(sheng)至(zhi)3200rpm以(yi)上(shang)，避(bi)免(wen)共(gong)振(zhen)導(dao)致(zhi)的(di)測(ce)試(shi)誤(wu)差(chai)。

結(jie)語(yu)

真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)的(di)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)選(xuan)型(xing)需(xu)綜(zeng)合(ge)考(kao)慮(lv)材(cai)料(liao)、密(mi)封(feng)、潤(run)滑(hua)、精(jing)度(duo)及(ji)動(dong)態(tai)性(xing)能(neng)。隨(sui)著(zhuo)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)向(xiang)更(geng)小(xiao)線(xian)寬(kuan)、更(geng)高(gao)良(liang)率(shuai)發(fa)展(zhan)，真(zhen)空(kong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)的(di)技(ji)術(zhu)迭(die)代(dai)將(qiang)持(chi)續(xu)加(jia)速(su)。未(wei)來(lai)，集(ji)成(cheng)應(ying)變(bian)片(pian)與(yu)RFID芯(xin)片(pian)的(di)智(zhi)能(neng)型(xing)絲(si)杠(gang)模(mu)塊(kuai)，有(you)望(wang)通(tong)過(guo)實(shi)時(shi)監(jian)測(ce)負(fu)載(zai)與(yu)磨(mo)損(sun)狀(zhuang)態(tai)，進(jin)一(yi)步(bu)降(xiang)低(di)非(fei)計(ji)劃(hua)停(ting)機(ji)時(shi)間(jian)，推(tui)動(dong)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)向(xiang)全(quan)自(zi)動(dong)化(hua)、智(zhi)能(neng)化(hua)邁(mai)進(jin)。