一(yi)、封(feng)閉(bi)式(shi)循(xun)環(huan)係(ji)統(tong)：阻(zu)斷(duan)汙(wu)染(ran)源(yuan)的(di)核(he)心(xin)防(fang)線(xian)

傳(zhuan)統(tong)開(kai)環(huan)式(shi)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)在(zai)高(gao)速(su)運(yun)轉(zhuan)時(shi)，潤(run)滑(hua)脂(zhi)中(zhong)的(di)基(ji)礎(chu)油(you)、增(zeng)稠(chou)劑(ji)顆(ke)粒(li)易(yi)因(yin)離(li)心(xin)力(li)作(zuo)用(yong)外(wai)溢(yi)，形(xing)成(cheng)懸(xuan)浮(fu)粒(li)子(zi)汙(wu)染(ran)源(yuan)。某(mou)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)廠(han)商(shang)改(gai)造(zao)案(an)例(li)顯(xian)示(shi)，采(cai)用(yong)全(quan)封(feng)閉(bi)式(shi)滾(gun)珠(zhu)循(xun)環(huan)係(ji)統(tong)後(hou)，0.5μm以(yi)上(shang)顆(ke)粒(li)物(wu)排(pai)放(fang)量(liang)降(xiang)低(di)92%。該(gai)係(ji)統(tong)通(tong)過(guo)雙(shuang)螺(luo)母(mu)結(jie)構(gou)與(yu)密(mi)封(feng)端(duan)蓋(ge)形(xing)成(cheng)物(wu)理(li)屏(bing)障(zhang)，配(pei)合(ge)負(fu)壓(ya)吸(xi)附(fu)裝(zhuang)置(zhi)，將(qiang)潤(run)滑(hua)脂(zhi)密(mi)封(feng)在(zai)循(xun)環(huan)通(tong)道(dao)內(nei)，從(zong)源(yuan)頭(tou)杜(du)絕(jue)微(wei)粒(li)逸(yi)散(san)。

二(er)、低(di)發(fa)塵(chen)材(cai)料(liao)：構(gou)建(jian)無(wu)塵(chen)環(huan)境(jing)的(di)物(wu)質(zhi)基(ji)礎(chu)

潔(jie)淨(jing)室(shi)用(yong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)需(xu)選(xuan)用(yong)低(di)揮(hui)發(fa)性(xing)、耐(nai)腐(fu)蝕(shi)材(cai)料(liao)。以(yi)某(mou)型(xing)號(hao)ISO Class 3級(ji)潔(jie)淨(jing)室(shi)專(zhuan)用(yong)絲(si)杠(gang)為(wei)例(li)，其(qi)主(zhu)體(ti)采(cai)用(yong)316L不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)材(cai)質(zhi)，表(biao)麵(mian)經(jing)電(dian)解(xie)拋(pao)光(guang)處(chu)理(li)至(zhi)Ra≤0.05μm，較(jiao)普(pu)通(tong)碳(tan)鋼(gang)表(biao)麵(mian)粗(cu)糙(cao)度(duo)降(xiang)低(di)80%，顯(xian)著(zhuo)減(jian)少(shao)顆(ke)粒(li)附(fu)著(zhuo)。滾(gun)珠(zhu)則(ze)選(xuan)用(yong)氮(dan)化(hua)矽(gui)陶(tao)瓷(ci)材(cai)質(zhi)，其(qi)硬(ying)度(duo)達(da)HV1800，較(jiao)鋼(gang)製(zhi)滾(gun)珠(zhu)耐(nai)磨(mo)性(xing)提(ti)升(sheng)5倍(bei)，且(qie)運(yun)行(hang)過(guo)程(cheng)中(zhong)不(bu)產(chan)生(sheng)金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)。潤(run)滑(hua)係(ji)統(tong)采(cai)用(yong)IKO CG2低(di)發(fa)塵(chen)潤(run)滑(hua)脂(zhi)，經(jing)實(shi)驗(yan)驗(yan)證(zheng)，該(gai)潤(run)滑(hua)脂(zhi)在(zai)1m/s運(yun)行(hang)速(su)度(duo)下(xia)，0.5μm顆(ke)粒(li)物(wu)釋(shi)放(fang)量(liang)僅(jin)為(wei)0.3顆(ke)/分(fen)鍾(zhong)，較(jiao)傳(zhuan)統(tong)潤(run)滑(hua)脂(zhi)降(xiang)低(di)97%。

三(san)、多(duo)重(chong)密(mi)封(feng)結(jie)構(gou)：打(da)造(zao)立(li)體(ti)防(fang)護(hu)體(ti)係(ji)

針(zhen)對(dui)潔(jie)淨(jing)室(shi)動(dong)態(tai)密(mi)封(feng)需(xu)求(qiu)，某(mou)企(qi)業(ye)開(kai)發(fa)出(chu)四(si)層(ceng)複(fu)合(ge)密(mi)封(feng)結(jie)構(gou)：

1. 初(chu)級(ji)防(fang)護(hu)層(ceng)：在(zai)螺(luo)母(mu)兩(liang)端(duan)加(jia)裝(zhuang)聚(ju)四(si)氟(fu)乙(zhe)烯(xi)刮(gua)塵(chen)環(huan)，其(qi)唇(chun)口(kou)與(yu)絲(si)杠(gang)軸(zhou)形(xing)成(cheng)0.05mm動(dong)態(tai)間(jian)隙(xi)，可(ke)攔(lan)截(jie)95%以(yi)上(shang)直(zhi)徑(jing)≥10μm的(di)顆(ke)粒(li)物(wu)；

2. 次(ci)級(ji)密(mi)封(feng)層(ceng)：采(cai)用(yong)雙(shuang)唇(chun)口(kou)橡(xiang)膠(jiao)密(mi)封(feng)圈(juan)，配(pei)合(ge)彈(tan)簧(huang)預(yu)緊(jin)機(ji)構(gou)，在(zai)0-5MPa壓(ya)力(li)範(fan)圍(wei)內(nei)保(bao)持(chi)恒(heng)定(ding)接(jie)觸(chu)力(li)，防(fang)止(zhi)潤(run)滑(hua)脂(zhi)滲(shen)漏(lou)；

3. 氣(qi)密(mi)隔(ge)離(li)層(ceng)：通(tong)過(guo)正(zheng)壓(ya)氣(qi)體(ti)吹(chui)掃(sao)裝(zhuang)置(zhi)，在(zai)密(mi)封(feng)腔(qiang)內(nei)形(xing)成(cheng)0.02MPa微(wei)正(zheng)壓(ya)，阻(zu)止(zhi)外(wai)部(bu)顆(ke)粒(li)侵(qin)入(ru)；

4. 終(zhong)端(duan)過(guo)濾(lv)層(ceng)：在(zai)絲(si)杠(gang)末(mo)端(duan)安(an)裝(zhuang)HEPA高(gao)效(xiao)過(guo)濾(lv)器(qi)，對(dui)逃(tao)逸(yi)的(di)0.1μm級(ji)顆(ke)粒(li)進(jin)行(hang)終(zhong)極(ji)攔(lan)截(jie)。

某(mou)晶(jing)圓(yuan)檢(jian)測(ce)設(she)備(bei)改(gai)造(zao)項(xiang)目(mu)數(shuo)據(ju)顯(xian)示(shi)，應(ying)用(yong)該(gai)密(mi)封(feng)結(jie)構(gou)後(hou)，設(she)備(bei)內(nei)部(bu)潔(jie)淨(jing)度(duo)從(zong)ISO Class 5級(ji)提(ti)升(sheng)至(zhi)Class 3級(ji)，單(shan)台(tai)設(she)備(bei)年(nian)維(wei)護(hu)次(ci)數(shuo)由(you)12次(ci)降(xiang)至(zhi)2次(ci)，維(wei)護(hu)成(cheng)本(ben)降(xiang)低(di)78%。

四(si)、智(zhi)能(neng)監(jian)測(ce)係(ji)統(tong)：實(shi)現(xian)全(quan)生(sheng)命(ming)周(zhou)期(qi)管(guan)理(li)

現(xian)代(dai)潔(jie)淨(jing)室(shi)用(yong)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)集(ji)成(cheng)在(zai)線(xian)監(jian)測(ce)模(mu)塊(kuai)，通(tong)過(guo)嵌(kan)入(ru)式(shi)傳(zhuan)感(gan)器(qi)實(shi)時(shi)采(cai)集(ji)振(zhen)動(dong)、溫(wen)度(duo)、摩(mo)擦(ca)係(ji)數(shuo)等(deng)參(shen)數(shuo)。某(mou)智(zhi)能(neng)電(dian)缸(gang)產(chan)品(pin)配(pei)備(bei)的(di)Smart-V9控(kong)製(zhi)器(qi)，可(ke)基(ji)於(yu)機(ji)器(qi)學(xue)習(xi)算(suan)法(fa)預(yu)測(ce)潤(run)滑(hua)脂(zhi)壽(shou)命(ming)，當(dang)顆(ke)粒(li)物(wu)濃(nong)度(duo)超(chao)標(biao)時(shi)自(zi)動(dong)觸(chu)發(fa)報(bao)警(jing)。在(zai)某(mou)12英(ying)寸(cun)晶(jing)圓(yuan)廠(han)的(di)應(ying)用(yong)中(zhong)，該(gai)係(ji)統(tong)提(ti)前(qian)32天(tian)預(yu)警(jing)潤(run)滑(hua)係(ji)統(tong)故(gu)障(zhang)，避(bi)免(wen)因(yin)絲(si)杠(gang)卡(qia)滯(zhi)導(dao)致(zhi)的(di)晶(jing)圓(yuan)報(bao)廢(fei)事(shi)故(gu)，直(zhi)接(jie)經(jing)濟(ji)效(xiao)益(yi)超(chao)200萬(mo)元(yuan)。

潔(jie)淨(jing)室(shi)環(huan)境(jing)下(xia)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)的(di)無(wu)塵(chen)化(hua)改(gai)造(zao)，需(xu)從(zong)材(cai)料(liao)選(xuan)擇(ze)、結(jie)構(gou)設(she)計(ji)到(dao)智(zhi)能(neng)監(jian)控(kong)形(xing)成(cheng)完(wan)整(zheng)技(ji)術(zhu)鏈(lian)條(tiao)。隨(sui)著(zhuo)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)向(xiang)2nm及(ji)以(yi)下(xia)製(zhi)程(cheng)邁(mai)進(jin)，具(ju)備(bei)納(na)米(mi)級(ji)定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)與(yu)零(ling)汙(wu)染(ran)特(te)性(xing)的(di)滾(gun)珠(zhu)絲(si)杠(gang)，將(qiang)成(cheng)為(wei)推(tui)動(dong)高(gao)端(duan)裝(zhuang)備(bei)國(guo)產(chan)化(hua)的(di)核(he)心(xin)部(bu)件(jian)。